● 能使酸在10C至250C范围内刻蚀样品;
● 用低温刻蚀铜线样品，对铜线的损伤极低;
● 可以使用发烟硝酸、发烟硫酸或混合酸;
● 酸和废酸存储在选择标准化的酸瓶中;
● 微处理控制器能储存高达100组程序;
● 设备小巧，只需很小的空间摆放;
● 升降温时间快，硝酸与硫酸的切换使用只需
● 使用一定浓度的硝酸和硫酸
● 推荐98%的发烟硝酸和20%的发烟硫酸
● 用户可选的蚀刻时间和蚀刻温度
● 温度设定:发烟硝酸20-90度
● 温度设定:发烟硫酸20-250度
● 温度设定:发烟硝酸和发烟硝酸混合酸20-100度
● 可选的蚀刻腔酸液的传送方式
● 脉冲方式适合大的样品和邦线要求裸露的应用
● 互惠方式适合要求垂直侧壁或CSP芯片的应用
● 9种不同的混合酸比例组合
● 硝酸和硫酸比例从1:1~9:1
● 完全自动的酸泵抽吸和混合
● 不需人工混合就能确保最大精度和制程的重复性；直觉的用户操作界面
● 简单、雅致、高亮度设计确保所有操作者的使用和操作
● 用PC数据线，可在通风橱外操作
● 完全自动的酸混合
● 不需人工混合确保用户的无比安全
● 空置模式操作
● 完全的清除酸供应和废渣排除
● 系统不使用时容许安全关掉
● EMO紧急停止按纽
● 漏酸光纤侦测
● 开封机内部漏酸侦测
● 酸瓶漏酸侦测
● 自动热废酸冷却处理系统
● 退酸冷却装置，可最低减少废酸烟雾排放
● 独特的酸瓶和废酸瓶容器系统
系统图纸
| Elite Etch/EE Cu | Remark | |
| 机器尺寸(mm) | 190x320x305 | Elite EtchDecap设计更精巧，占地面积更小，为客户节省空间，1米2的通风柜即可。 |
| 温度范围 | 1,发烟硫酸:20C-250C2,发烟硝酸:20C-90C3,混酸:20C-100C(EE)4,混酸(专利):10C-100C(EE Cu) | 如果客户铜线小于0.7MIL以下时，Elite Etch Decap可升级为Elite EtchCu，拥有USA专利的低温冷却系统，混酸最低可达10C。 |
| 抽酸流量 | l-8ml/minute | Elite Etch流量范围大，速度更快。 |
| 蚀刻头组件 | 固定式碳化硅(保固2年) | Elite Etch保固2年。 |
| N2气体支持 | 2.0lpm(安全盖子+泵)60-70psi | ElieEtch更节省N2气体。采用自动高低压气体转换系统和安全盖内部安全气压补充。不会有CHECKCOVER报警。 |
| 安全 | 1.自动显示错误信息。2.EMO紧急停止按扭.3.漏酸侦测在设备内部和瓶子BOX里.4,采用光纤感应盖子的密合度(不是耗材)5,所有管路一体化设计，双层保护套，并且酸瓶盒配有盖子 | EMO紧急停止按扭,漏酸光纤侦测在设备内部和瓶子BOX里,管路双层保护套，酸瓶盒配有盖子，只有EliteEtch拥有，更安全设计。 |
| 废酸瓶 | 1个 | EliteEtch新设计的退酸冷却系统，可将废酸退入一个瓶子，从而减少了一个退酸阀件的耗材和保养。 |
| 固定样品方式 | 盖子盖下以后，自动从上到下，直接固定样品 | EliteEtch设计没有类似情况，定位比较准确。 |
| 密封圈 | 圆型(不是耗材) | EliteEtch的密封圈是圆型设计，密度高，无须更换。 |
| 操作方式 | 可在通风柜外手持式操作(更安全) | EliteEtch的操作和机台是分体式的。较不易被酸侵蚀。 |
| 保修期 | 1,整机保固1年2,蚀刻头保修2年3,新型微量泵保修2年 | Elite Etch的保修期更长。 |
| 自动酸清洗选项 | 0-20秒(可选择硫酸，硝酸，混酸清洗或不清洗) | 可混酸清洗是EliteEtch的一个特别设计。可用在铜线的应用。 |
| 安全证明 | 1,CE2,SEMIS3-933,SEMIS20004,RoHS | EliteEtch是更符合世界安全标准。 |
| 开封垫圈 | 共有7套标准的垫圈和根据客户定制的垫圈。 | 可共用 |
| 蚀刻方式 | 脉冲式和互惠式 | 只有Elite Etch的独特设计，在操作脉冲式，互惠式或自动酸洗时，可以做相应的参数调整。 |
● Elite Etch/EECu SYSTEM FOR PACKAGE OPENING
● 酸的温度可设置+10Cto250C，当有大量铜线产品和铜线0.7mil以下时，可选择升级为EECu
Gaskets
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