iPHEMOS-MPX 将微光图像叠加在高分辨率图案图像上，以快速定位缺陷点。 对比度增强功能使图像更清晰、更细腻。

对比度增强功能使图像更清晰、更细腻。

显示功能

注释：评论、箭头和其他指示符可以显示在图像上所需的任何位置。

刻度显示：可以在图像上分段显示刻度宽度。

网格显示：可以在图像上显示垂直和水平网格线。

缩略图显示：图像可以存储为缩略图并进行调用，并且可以显示图像信息，例如载物台坐标。

拆分屏幕显示：可以在 6 窗口屏幕中一次显示图案图像、微光图像、叠加图像和参考图像。

TD Imaging

TD Imaging （可选）是一项适用于识别逻辑半导体等复杂结构半导体中缺陷的新技术。它可以通过内部金属半导体精准定位缺陷。