卓越的品质

无与伦比的准确性和可重复性确保您对测试结果的质量充满信心。

最终退后精度

剪切高度的控制(复位)对剪切应用中一致性的 测试结果至关重要。Nordson DAGE独有的专 利复位系统有助于设置和控制剪切高度，从而 使复位精度达到+/- 0.25微米。

高级成像

一系列功能强大的摄像头和光学系统优化加 载工具对准、自动编程和测试分析。

垃圾清理站

快速高效地从推刀及夹爪中自动清除残渣。

独特的双显微镜装置

4800 焊接强度测试仪的先进光学器件与显微镜的双减振装置和可调式视窗相结合，可提供无与伦比的图像稳定性。

小尺寸精准定位

独特的矢量微调控制，提供具有可编程的微动按钮的小键盘操作， 精确的步进移动，以确保最终的位置精度。

自动化测试

完全自动化的测试程序可以配置使用直观的晶圆映射模块在选定的 或随机的模具上运行一组测试。协助用户从加载到结果，包括：摄 像头对位、失效模式判定和图形数据展示。

自动软件

Nordson DAGE Paragon^TM 测试软件拥有极大地可配置性和直观的界面以及各种高级的功能，例如自动GR＆R计算、内置诊断、一系列 图表和独特的数据库搜索引擎向导。利用机载 成像系统可以通过基准点匹配进行自动对准。

Paragon^TM 测试软件为创建晶圆图提供终极灵活性，允许快速准确地设置测试模式；可以轻 松编辑每种测试模式的虚拟图像。您可以从以 下方法中进行选择：
● 使用独特的机载智能自动晶圆绘图软件来扫描晶圆
● 以工业标准格式导入晶圆图
● 使用鼠标简单地点击向导来为晶圆上任何位置的任何测试点编写程序

集成晶圆处理

Nordson DAGE4800 与晶圆处理系统集成，可确 保操作可靠性和可重复性。

集成晶圆处理系统将 DAGE4800转换为 一个完全自动化的系统，其利用下一代ParagonTM 焊接强度测试软件确保可靠和可重复的操作。

高度直观和可配置的界面为各种样品配置提供了 快速、简便的自动化测试程序开发和执行。

一步一步的向导引导用户完成设置过程，满足各 种选择需求。Paragon还提供了同时显示并记录 来自多台摄像头视图的功能。

Nordson DAGE 4800 Integra是自动晶圆焊接强度 测试的完整解决方案。整个系统由工厂配置并由一 台PC控制。

几乎无需操作员介入测试

该系统完全由Paragon TM 软件进行控制，经过编程 后，无需操作员介入即可自动执行测试的所有部分。

全面的SECS/GEM集成

系统直接连接到网络以允许全面的的SECS/GEM操 作。当与FOUP加载系统结合使用时，测试、分析 和结果可以完全自动化。

无尘室兼容

可选风扇过滤装置和前门可加入离子去除装置，以 进行无尘室操作。

自动晶圆矫正器

晶圆矫正器确保在测试之前可将翘曲的晶圆自动夹 紧到真空吸盘上。

风扇过滤器

4800 Integra可安装风扇过滤器和封闭门。这样可 以保持系统内部的正压力，并将碎屑排出测试区域。

互锁选项

可以安装光幕或互锁门，以保护操作者免受测试区 域的伤害。系统将在光幕或互锁门被损坏或被打开 时暂停当前的测试，并在障碍物消除后重新启动。

CCD摄像头监控

可选的CCD摄像头可以安装在晶圆处理机上，也可 以安装在4800 Integra内部。允许对测试过程进行 监视和记录。