

让热失效无处遁形,为智能制造赋能!
通过制冷型探测器与锁相放大技术 的结合,系统可精准捕捉微弱热辐射信 号,实现高灵敏度、高分辨率的失效分 析、热扩散测量及无损检测。
广泛应用于半导体与微电子制造,芯片级和封装级失效分析:定位芯片短路、漏电、功能失效区域; 电子设备与PCB检测,PCB板级失效定位:快速检测电源短路、锡残留、焊盘裂纹等缺陷,支持大视场扫描; 显示屏与消费电子:诊断屏幕闪屏、ESD静电损伤、焊盘空洞等问题;新能源与功率器件,碳化硅(SiC)与GaN 器件分析:漏电路径定位、热分布优化,提升器件可靠性;热电材料与电池研究:评估热电转换效率、电池热失 控预警,优化热管理设计;科研与前沿技术开发等领域。
通过制冷型探测器与锁相放大技术 的结合,系统可精准捕捉微弱热辐射信 号,实现高灵敏度、高分辨率的失效分析、热扩散测量及无损检测。


广泛应用于半导体与微电子制造,芯片级和封装级失效分析:定位芯片短路、漏电、功能失效区域; 电子设备与PCB检测,PCB板级失效定位:快速检测电源短路、锡残留、焊盘裂纹等缺陷,支持大视场扫描; 显示屏与消费电子:诊断屏幕闪屏、ESD静电损伤、焊盘空洞等问题;新能源与功率器件,碳化硅(SiC)与GaN 器件分析:漏电路径定位、热分布优化,提升器件可靠性;热电材料与电池研究:评估热电转换效率、电池热失 控预警,优化热管理设计;科研与前沿技术开发等领域。

集成核心检测与分析功能,锁相功能,最高25Hz锁相频率,信噪比提升10倍以上
设计了符合工程应用习惯的功能,使操作更简易方便(叠加X-RAY图OM图, BD图,PCB layout 图;视频编辑; 3D热点显示等功能)
可外接电源和测试机
可实现全供应链国产化,打破进口依赖,性价比行业领先
全面且创新的高品质售后,创新搭建热源深度计算模型,破解封装黑盒
叠图功能示例

| 软件功能 | IV测试功能、热点/设计图型叠图等功能,视频编辑功能,失效模式匹配功能,3D视图功能; |
| 锁相分析 | 频率≤25Hz,热灵敏度小于0.1mK |
红外相机 | 中波3~5um, 640*512, 15um ,MCT/InSb 探测器,制冷温度小于等于85K |
物镜 | WA镜头:可调视场范围38.4*30.72mm至144*115.2mm(可定制更大视场范围) 1X镜头:分辨率:15μm,NA:0.125; 3X 镜头:分辨率:5μm,NA:0.375; 8X 镜头:分辨率:2μm,NA:0.8; 10X镜头:分辨率:1.875um,NA:0.8; |
防振系统 | VC-C级防振系统 |
运动控制 | 立式结构:电动移动XYZ 200mm-200mm-300mm,重复定位精度±1um 龙门结构:电动移动XYZ 50mm-50mm-100mm,重复精度±1um 支持多级物镜切换电动切换4个中波红外镜头+1个光学镜头(机械按键+软件控制) |
电源 | 支持外接电源,支持外触发(动态分析)。支持同时配置高电压源和低电压源 低电压源200V,1.5A;高电压源3000V,120mA |
探针台 | 标配标准8寸探针台,可选配高压/高温(室温至200/300)探针台或者双面探针台(4,6,8,1 2寸可选 ),包含扎针用光学显微镜和高清成像相机 |
工作条件 | 电压:AC220V,真空大于50K Pa,压缩空气:0.6~0.8MPa |
设备尺寸 | 1320mm*1150mm*1950mm,1100kg(龙门结构) 1150mm*1150mm*1850mm,650kg(立式结构) |