BrightBeam™ 无漏磁超高分辨 SEM 镜筒

▪ 肖特基场发射灯丝，保证使用寿命可达2年

▪ 电磁 - 静电复合式物镜

▪ 镜筒内电子加速器

▪ 镜筒内多模式的 SE 和 BSE 探测器

▪ 电子束着陆能量: 50 eV–30 keV (电子束减速技术下<50 eV *)          

▪ 通过控制电磁光阑实现束斑最优化

▪ 探针电流: 2 pA – 400 nA, 连续可调

▪ 视野范围: 7 mm @ WD=6 mm, >50 mm @ 最大WD

▪ 最大放大倍数：2 - 2,000,000 倍

MistralTM 等离子 FIB 镜筒

▪ 氙等离子源(ECR), 离子源寿命受实际使用情况影响

▪ 配置压电驱动光阑变换器，30 孔光阑

▪ 静电束闸，配置法拉第杯

▪ 离子束能量: 500 eV–30 keV

▪ 探针电流: 1 pA – 3.3 µA

▪ 最大视野: 1 mm

FIB-SEM 几何关系

▪ 重合点处 SEM 的工作距离: 6 mm

▪ FIB-SEM 夹角: 55°              

电子束分辨率:

▪ 1.4 nm @ 1 keV (无漏磁)

▪ 1.3 nm @ 1 keV (减速模式)*

▪ 0.9 nm @15 keV (无漏磁)

▪ 0.8 nm @ 30 keV STEM* (无漏磁)

低真空分辨率:

▪ 1.8 nm @ 30 keV， GSD 探测器*

▪ 3.0 nm @ 3 keV，GSD 探测器*

离子束分辨率

▪ 10 nm@ 30 keV

5 轴计算机控制优中心马达驱动样品台

▪ X & Y 轴移动行程: 130 mm

▪ Z 轴移动行程: 96 mm

▪ 倾转: 计算机控制优中心式, -70°到 +90°

▪ 旋转: 计算机控制优中心式, 360 ° (连续可调)

▪ 最大样品高度：92 mm( 无需旋转时可达 133 mm)

▪ 最大样品尺寸: 直径180 mm，XY轴移动和旋转不受影响， 不能倾斜 (放置更大尺寸样品可能会让移动行程和旋转受 到限制)

▪ 最大样品重量：8000g

   ▪ 1000 g（XYZRT 全程可移动）

   ▪ 8000 g（XYZ 全程可移动）

   ▪ 安装摇摆样品台(Rocking Stage) : 500g

   ▪ 摇篮式样品台* 注意：移动的实际行程取决于实际配置和当时的工作距离或 Z轴数值。

   注意：移动的实际行程取决于实际配置和当时的工作距离或 Z轴数值。

样品室

▪ 宽度: 340 mm

▪ 深度: 315mm

▪ 接口数量: 20+

▪ 隔振方式: 主动式（内置）

▪ 扩展：用于6” 和 8” 晶圆*

▪ 扩展： 用于 6”, 8” 和 12” 晶圆 ( 需安装摇篮式样品台) *

▪ 扩展： 联用拉曼光谱仪 (RISE™)*

▪ 观察样品室内部情况的红外摄像机

▪ 第二个红外摄像机*

▪ 集成的等离子清洗器

真空系统

▪ 高真空: < 9 x 10^-3 Pa

▪ 低真空 (N2)*/MultiVac (N2,H2O)*: 7 – 500 Pa

▪ 前级真空泵: 无油干泵

▪ 样品预抽室*

探测器和附件

▪ 皮安计，包含防碰撞报警功能

▪ 样品室内 Everhart-Thornley 式探测器（E-T）

▪ 镜筒内多模式探测器 （MD）

▪ 镜筒内轴向 BSE/SE 探测器（Axial）

▪ 低真空二次电子探测器(GSD), 可变真空MultiVac下使用*

▪ 二次离子探测器 （SITD）*

▪ 可伸缩-高灵敏闪烁体式背散射电子探测器（LE-BSE）+

▪ 可伸缩 -闪烁体式背散射电子探测器 （R-BSE）*

▪ 可伸缩-高灵敏四分割固态背散射电子探测器（4Q LE-BSE）*

▪ 可伸缩-闪烁体式水冷背散射电子探测器, 耐热温度<800 °C，（Water Cooled BSE） *              

▪ 可伸缩-闪烁体式镀铝背散射电子探测器,可同时接收阴极荧光 和背散射电子信号，(Al-coated BSE *)

▪ 可伸缩-集成型阴极荧光探测器（CL）,350–650 nm*

▪ 可伸缩-集成型阴极荧光探测器（CL）,185–850 nm*

▪ 可伸缩-集成型4通道彩色阴极荧光探测器（Rainbow CL *）

▪ 可伸缩-扫描透射电子探测器(HADF R-STEM *)，可接收明场 (BF), 暗场(DF) 和高角暗场(HADF)信号，最多放置8个 TEM 铜网

▪ 光学导航和联用像机(ONCam)*2

▪ 能谱仪 EDS* （第三方）需要快门

▪ 背散射电子衍射仪 EBSD*（第三方）

▪ 波谱仪 WDS* （第三方）

▪ 集成飞行时间二次离子质谱仪 TOF-SIMS*

▪ 共聚焦拉曼光谱仪(RISE™)*

气体注入系统

OptiGIS™*: 可伸缩的单支气体注射系统

▪ 最多可配置三支OptiGIS™ 注入系统（多种气体源可选）

气体

▪ 铂金属沉积(Pt)+

▪ 钨金属沉积(W)*

▪ 碳沉积(C)*

▪ 绝缘体沉积(SiOx)*

▪ 增强刻蚀(H2O)*

▪ 增强刻蚀(XeF2)*

▪ 用于平面 IC 去层的专用气体*

▪ 可根据需要选配其它气体*

附件

▪ TESCAN OptiLiftTM (XYZR) *

▪ TESCAN 纳米机械手(XYZ) +

▪ 摇摆样品台，可去除帘幕效应 +

▪ True-X 截面掩膜，用于高质量的样品截面加工 +

▪ 纳米机械手（第三方）*

▪ 电荷中和枪（用于 FIB 荷电补偿）*

▪ 能谱的气动快门*

电子束光刻*

▪ SEM 镜筒的静电束闸*

▪ TESCAN EssenceTM EBL 套装*

▪ TESCAN FlowTM EBL 离线版*                

扫描系统 SEM 以及 FIB 有各自独立的扫描系统:

▪ 驻留时间: 20 ns –10 ms, 步进或连续可调

▪ 全幅图像扫描, 选中区域扫描，线或点扫描

▪ 图像旋转、移动和倾斜补偿

▪ 帧累积、线累积

▪ DrawBeam™，数字图形发生器，16 位 DAC

电子束

▪ 动态聚焦

▪ 帧积累漂移校正(DCFA)

图像采集

▪ 最大图像像素: 16k x 16k

▪ 图像纵横比: 1:1, 4:3和2:1

▪ 图像拼接，全景图像尺寸没有最大限制（需要自 动拼图软件）*

▪ 能够同时支持多达8个实时信号通道

▪ 实时伪彩图像和多通道信号混合

▪ 图像格式： TIFF, PNG, BMP, JPEG 和 GIF

▪ 动态范围: 8 或 16 bits

电镜控制附件和用户界面:

▪ 键盘和鼠标

▪ 轨迹球

▪ 多功能控制面板 +

▪ TESCAN 电镜专用控制软件 Essence™

控制电镜专用计算机

▪ 高性能配置：Intel Corei7 或同等性能处理器，32GB内存， 4 TB HDD 硬盘，NvidiaGTX1660 或同等性能显卡，Windows 11Pro64-bit（可根据要求提供详细信息）

▪ 32” QHD 显示器

TESCAN Essence™ 软件

▪ 高度可定制化的界面布局

▪ 可自定义功能键（F-keys）

▪ 多用户账户管理

▪ 快速搜索栏

▪ 撤销重做功能

▪ 单幅、双幅、四幅或六幅实时图像显示

▪ 多通道实时伪彩图像

自动化与半自动化功能

▪ SEM 电子枪和 FIB 离子枪自动启动

▪ 电子枪和电子镜筒对中

▪ 对比度亮度

▪ 自动聚集，自动消像散，自动物镜对中

▪ In-FlightBeamTracing™ 实现电子束和离子束优化

▪ 电子束束斑优化

▪ 离子束束斑优化

▪ 设置 FIB-SEM 图像重合点

▪ GIS 喷嘴位置和温度控制

▪ 自动 FIB 设置优化

Essence™ 高级模块

▪ 测量软件、公差测量软件

▪ 图像处理

▪ 预设参数

▪ 直方图和 LUT

▪ SharkSEMTM 标准版（远程控制)

▪ 三维防碰撞模型软件

▪ 对象区域

▪ 光电联用

▪ DrawBeamTM 电子束写入软件专家版

▪ 定时关机

▪ FIB-SEM 三维重构*

▪ FIB-SEM 三维重构专业版*/多模态版*

▪ 自动切片™*

▪ TEM AutoPrep*

▪ TEM AutoPrep Pro*

▪ CORAL™（用于生命科学的电镜软件模块）*

▪ 自动化电子束写入软件（DrawBeam™ Automate）*

▪ 自动拼图软件*

▪ 样品观察*

▪ 低角度抛光*

▪ 自动分割*（不确定请核实）

▪ FIB-SEM ExpertPI (Python 脚本编辑) *

▪ 系统检查*

▪ Synopsys 客户端*

▪ TESCAN Flow™ (离线处理软件) *

▪ TESCAN Delayering 模块

* 选配, +推荐选配项