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QUADRA 7 Pro

Quadra 7 Pro 搭载行业领先的X射线检测技术,具备100nm特征分辨能力,可生成高达650万像素的超高清X光图像,并通过超宽4K曲面显示器实现点对点精准呈现。凭借前沿科技加持,画质锐利清晰,助力您精准捕捉每一处关键细节,绝不遗漏。

主要特征
开拓性的软件

RevalutionTM控制软件具有简单直观的菜单及控制功能,便于快速开展工作。主界面布局可自定义,每个操作员都可保存自己习惯的布局,以获得更流畅的操作体验。提供自定义滤镜和图像增强功能,满足您的应用需求。通过鼠标简单的点击,即可迅速地完成缺陷分析,或生成自动化检查程序。


清晰度极佳

OnyxTM由我们的半导体专家团队自主设计研发,致力于提供业界最佳性能。成像单元拥有世界一流的规格表现,可同时兼顾低光照时所需的高敏感性以及高照度时所需的耐饱和性。Onyx具有更高帧率、更低噪声,能更快速地为您提供更清晰的图像。


独有的专利技术

QuadraNTⓇ光管是Quadra Pro之所以强大的源头。Quadra 7 Pro中的诺信最新一代X光光管,又获得了双工作模式这一特性的增强。此项功能正在申请专利。

● 高分辨率模式适用于对辐射敏感的半导体样品

● 高通量模式适用于较厚的致密样品

双模式的光管有助于更加清晰的成像,利于发现更多之前难以发现的缺陷细节!这一同类最佳的X射线管,不但保留了比传统射线管亮度高10倍的优势外,还提高了稳定性。在任何工作电压下,都可实现更小的光斑尺寸。欢迎您来亲身体验其中的差别。


主要参数
DAGE Onyx HL检测器
像素分辨率6.5 MP
帧率25 fps

DAGE QuadraNTTMX射线管
光管类型DAGE Mk4双模式20W
特征分辨率<100nm (低于10W时)
最大靶功率20W
电压30-160kv

检测
斜角视图2x70°-无需旋转样品可实现样品360观察。
防振主动减震
可检测区域510x445mm(20x17.5英寸)
几何放大倍率2500倍
系统放大倍率68,000倍
图像色深16位
显示器40英寸超宽显示器(5120x2160)

系统
设备尺寸1570(宽)x1500(深)x1900(高)mm
系统重量1950 kg(4300磅)
电源单相200至230V交流电, 50/60Hz, 16A
能耗1kW
气源5-8巴清洁干燥的空气,用于防振
运行温度10至30°C
湿度<85%无冷凝水附着
操作方式鼠标点击
操作系统Windows 1064位操作系统
X射线安全性<1微西弗/小时
符合所有相关的国际标准

可选配件
X-Plane Pro无需额外硬件实现 平面CT扫描
uCT使用uCT平台创建高分辨率三维模型
条形码读取器轻松完成产品追溯
操纵杆USB接口的操纵杆模块
辐射过滤盘降低样品曝露于X射线下的剂量
晶圆托盘用于放置300mm和200mm晶圆