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QUADRA 5 Pro

Quadra 5 Pro 搭载行业领先的X射线检测技术,具备300nm特征分辨能力,可生成高达330万像素的超高清X光图像,并点对点地显示在一个超宽曲面显示器上。我们用最新的科技,确保锐利的画质,不让您错过任何细节。

主要特征
灵活的X光检测方案

Quadra5 Pro不仅能拍摄亚微米分辨率的图像,还能提供众多卓越的其他功能。Quadra 5 pro与QaudramTM 7 Pro共享了许多相同的功能套件,比如uCT的取像模块,X光辐射过滤盘以及薄样品托盘。


开拓性的软件

RevalutionTM控制软件具有简单直观的菜单及控制功能,便于快速开展工作。主界面布局可自定义,每个操作员都可保存自己习惯的布局,以获得更流畅的操作体验。          
提供自定义滤镜和图像增强功能,满足您的应用需求。通过鼠标简单的点击,即可迅速地完成缺陷分析,或生成自动化检查程序。


清晰度极佳

OnyxmTM由我们的半导体专家团队自主设计研发,致力于提供业界最佳性能。成像单元拥有世界一流的规格表现,可同时兼顾低光照时所需的高敏感性以及高照度时所需的耐饱和性。OnyxTM具有更高帧率、更低噪声,能更快速地为您提供更清晰的图像。


主要参数
Onyx HL 检测器
像素分辨率3.3MP
帧率25 fps
有效像素尺寸70um

DAGE QuadraNTTMX射线管
光管类型Mk4 20W封闭式透射管
特征分辨率<300nm(低于10W时)                        
最大靶功率20W
电压30-160kv

检测
斜角视图2x70°-无需旋转样品可实现样品360观察。
防振主动减震
可检测区域510x445mm(20x17.5英寸)
几何放大倍率2500倍+数码放大
图像色深16位
显示器38英寸超宽显示器(3840x1660)

系统
设备尺寸1570(宽)x1500(深)x1900(高)mm
系统重量1950 kg(4300磅)
电源单相200至230V交流电,50/60HZ,16A 50/60Hz, 16A
能耗1kW
气源5-8巴清洁干燥的空气,用于防振
运行温度10至30°C
湿度<85%无冷凝水附着
操作方式鼠标点击
软件Revalution
操作系统Windows 10 64位操作系统
X射线安全性<1微西弗/小时
符合所有相关的国际标准

可选配件
X-Plane®无需额外硬件实现 平面CT扫描
uCT使用uCT平台创建高分辨率三维模型
条形码读取器轻松完成产品追溯
操纵杆USB接口的操纵杆模块
辐射过滤盘降低样品曝露于X射线下的剂量
晶圆托盘用于放置300mm和200mm晶圆