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TESCAN SOLARIS 为纳米加工和纳米技术研发提供完整的微米量级 FIB-SEM 解决方案。TESCAN SOLARIS 完美的结 合了高精度聚焦离子束(FIB)和采用TriLensw型浸没式设 计的超高分辨扫描电镜(SEM),实现了离子束刻蚀和扫描电镜超高分辨率成像的最佳组合。